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N18系列小體積直線壓電馬達位移臺 - 低溫、無磁、真空兼容!

更新時間: 2025-04-16

在科技高速迭代的今天,各行業(yè)對精密運動控制的追求不斷攀升,從前沿的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,到關(guān)乎生命健康的生物醫(yī)療領(lǐng)域,從探索宇宙奧秘的航空航天領(lǐng)域,到日常的智能電子設(shè)備,高精度、高可靠性的直線運動驅(qū)動需求無處不在。直線壓電馬達位移臺以其大行程、高精度和快速的響應(yīng)速度等性能優(yōu)勢,成為推動眾多行業(yè)邁向新高度的核心力量。

芯明天部分直線壓電馬達位移臺

N18系列小體積直線壓電馬達位移臺- 低溫、無磁、真空兼容!

N18系列壓電馬達位移臺為直線運動平臺,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,利用粘滑原理驅(qū)動,通過特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,將壓電陶瓷的直線微位移,轉(zhuǎn)換為宏動直線毫米行程,實現(xiàn)高精度定位。位移方向可選X向和Z向兩種運動方式,行程可達5mm,分辨率可達6nm,速度可達3mm/s,可在低溫、真空、無磁的應(yīng)用環(huán)境中使用。小體積設(shè)計,便于部署與集成,為設(shè)備小型化、集成化發(fā)展注入強勁動力。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

運動自由度:X或Z行程可達5mm低溫、真空、無磁粘滑原理驅(qū)動工作溫度范圍:-40~50℃斷電自鎖

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體—光刻機掩模臺定位、晶圓加工檢測、激光直寫等,精度決定良率!

生物醫(yī)療—超分辨率顯微成像、細胞操作、納升配藥等,精準掌控生命科學!

精密光學—光學干涉、光路調(diào)整、激光加工等,讓光學系統(tǒng)更穩(wěn)定!

航空航天—衛(wèi)星激光通信、天文望遠鏡、穩(wěn)像等,保障關(guān)鍵任務(wù)執(zhí)行!

技術(shù)參數(shù)

型號

N18.X5K

N18.Z5K

運動自由度

X

Z

標稱行程范圍

5mm或±2.5mm

速度上限

3mm/s

分辨率

6nm

推/拉力

3N

保持力 ( 斷電自鎖)

3N

承載能力

水平安裝

250g

150g

加載后速度上限

水平安裝

3mm/s@250g

2mm/s@150g

工作溫度

-40℃~50℃

出線長

1.5m

材質(zhì)

重量

19g

40g

配套控制器

E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動N18系列壓電馬達位移臺,它是單通道開環(huán)壓電控制器,采用數(shù)字控制,24VDC供電,靜態(tài)功耗小于5W,通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷,尺寸僅105×103×30.1mm^3,外觀體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,易于集成。

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