如何解讀閉環(huán)壓電產品的線性度
我們所有的閉環(huán)壓電產品在參數表中均會列出線性度值，芯明天壓電產品的線性度通常在滿行程的0.02%-0.1%之間，那么我們該如何理解線性度這個參數呢？
理想的情況下，輸入信號（決定壓電陶瓷位置的信號）與輸出信號（實現的位移）應該是線性的。
線性度描述的是實際的位置與理想位置的接近程度。
閉環(huán)壓電產品內置的傳感器線性度參數是非常重要的。芯明天壓電產品可選擇電阻應變計傳感器或者電容傳感器。
根據靈敏度計算理想位置
根據監(jiān)測電壓，理想位置可以按照以下公式計算：
舉例：
結合線性度通過靈敏度計算的位置
前面已經闡述過，監(jiān)測輸出電壓給出系統(tǒng)當前位置，通過靈敏度計算得到的位置會被非線性所改變。
在閉環(huán)線性關系中，實際位置與理想位置之間的偏差即為非線性?；诒O(jiān)測電壓，為了得到壓電陶瓷實際的位置，非線性必須要被考慮進去。
舉例：
165nm的非線性使得239.396μm的位移將會被改變?yōu)?39.561μm或239.231μm，我們通過以下方式確定傳感系統(tǒng)的線性度，用滿幅值三角波驅動控制壓電陶瓷，系統(tǒng)位置將會被內置的傳感器監(jiān)測調整，外部采用激光干涉儀進行位置檢測。
下圖為芯明天P11.X壓電納米定位臺的線性度曲線圖。
與位置有關的數據比如線性度、重復度、控制電壓等可在出廠檢測報告中給出。
